一、精密零件的切割
主要包括精密車削、鏡面磨削和磨削。微車削是在精密車床上用細磨的單晶金剛石車刀進行的。切割厚度只有約1微米。它通常用于加工高精度和光滑的表面零件,如有色金屬材料的球面鏡、非球面鏡和平面鏡。
二、精密零件加工
當精密零件的加工精度為納米甚至原子單位(原子點陣距離為0.1-0.2納米)時,超精密零件的加工方法就不能適應。必須采用特殊精密零件的加工方法,即化學能、電化學能、熱能或電能,使這些能量超過原子間的結合能,以消除某些原子在工件表面的附著、結合或晶格變形,從而達到超精密加工的目的。這種工藝包括機械化學拋光、離子濺射和離子注入、電子束曝光、激光束加工、金屬蒸發和分子束外延。